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主要参数  (Specifications)

 

型号
Model
VTC-050 VTC-150
法兰内径
Flange size
吸气口 Inlet ICF114 ICF152
排气口 Outlet NW16 NW16
涡轮分子泵排气速度
TMP pumping speed
N2 L/s 50 190
H2 L/s 40 160
最后压力  Ultimate pressure Pa 10-6台(无热烘 No baking
噪音 Noise level dB(A) 60
粗辗真空泵  Foreline pump ISP-250B-SV
输入电压  Voltage V 单相 Single phase 100
重量 Weight kg 49 54
外形尺寸 Dimensions mm W 350×L 490
×H 591
W 350×L 490
×H 638
选项 Optional parts 箱、真空计、自动阀等
Chamber, Vacuum gauge, automatic value

型号
Model
VTU-050 VTU-500
法兰内径
Flange size
吸气口 Inlet ICF114 ICF203
排气口 Outlet NW16 NW25
涡轮分子泵排气速度
TMP pumping speed
N2 L/s 50 550
H2 L/s 40 500
最后压力  Ultimate pressure Pa 10-6台(无热烘 No baking
噪音 Noise level dB(A) 56 60
粗辗真空泵  Foreline pump ISP-90 ISP-500B-SV
输入电压  Voltage V 单相 Single phase 100
重量 Weight kg 25 93
外形尺寸 Dimensions mm W 350×L 340
×H 285
W 430×L 570
×H 740
选项 Optional parts 箱、真空计、自动阀等
Chamber, Vacuum gauge, automatic value

当客户使用自己指定的涡轮分子泵组成高真空排气系统时,请询问相关事项。
If you have any preference of turbo molecular pump, it could be chosen.
在未指定时,按三菱重工业株式会社制造的涡轮分子泵配置。

 

 


 
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